公司介绍
中微半导体设备（上海）股份有限公司是国内服务于集成电路和泛半导体行业的微观加工高端设备公司。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备等的研发、生产和销售，其产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造等领域。尤其聚焦小线宽先进制造刻蚀领域，成功打入国际先进生产线，为国产刻蚀设备的发展提供了有力支撑。
中微公司成立于 2004 年。2004 年 5 月，中微亚洲出资创立中微有限，并于同年 8月推出了首台甚高频等离子体刻蚀机；2007 年 6 月，公司研制成功首台 CCP 刻蚀设备；2011 年 9 月，CCP 设备进入 45nm 生产线；2012 年 11 月，公司首台 MOCVD设备 Prismo D-BLUE 研制成功；2013 年 6 月，CCP 设备进入 22nm 生产线；2016年 11 月，公司首台 ICP 设备研发成功；2017 年 7 月，CCP 设备进入国际先进 7nm生产线；2019 年 7 月，中微登陆科创板上市。
资料来源：公司公告，国信证券经济研究所整理
股权结构
中微第一大股东为上海创业投资有限公司。截至 2022 年，上海创业投资持股比例15.64%,隶属于上海国资委；第二大股东巽鑫投资持股 15.15%，隶属于国家大基金。其他主要股东中，中国香港中央结算有限公司持股 5.52%，嘉兴智微企业管理合伙企业、advanced Micro Fabrication Equipment Inc. Asia、国家集成电路产业投资基金二期、诺安成长混合型证券投资基金持股比例分别为 4.97%、4.03%、3.97%、2.9%。
资料来源：公司公告，国信证券经济研究所整理
中微公司实际控制人系核心技术人员。公司 CEO 尹志尧博士深耕半导体行业近 40年，曾任职于应用材料、泛林等国际知名大厂近 20 年，有力推动了等离子体刻蚀设备的快速发展。司副总裁杜志游博士曾任 Praxair Inc 董事总经理、梅特勒-托利多上海子公司总经理，有丰富的行业经验和公司管理经验。公司副总裁倪图强博士曾在泛林半导体担任技术总监，是 Lam2300 系列刻蚀产品的发明者之一。公司其余多位董事高管也具有半导体相关学术背景与工作履历，具备丰富的行业经验。以下是中微公司管理层介绍。
资料来源：公司公告，公司官网，国信证券经济研究所整理
十大流通股
截止2022年6月30日，公司前十大流通股如下所示。
资料来源：同花顺
公司产品介绍
中微主要为集成电路、LED 芯片等产品制造企业提供刻蚀设备、MOCVD 设备以及其他设备。主要产品包括 CCP 电容性刻蚀机、ICP 电感性刻蚀机、MOCVD 设备以及VOC 设备。CCP 电容性刻蚀机主要用于集成电路领域氧化硅、氮化硅及低介电系数膜层等电介质材料的刻蚀，ICP 电感性刻蚀机主要用于集成电路中硅材料的刻蚀及金属刻蚀，MOCVD 设备主要应用于 LED 外延片及功率器件的生产，VOC 设备则主要应用于平板显示生产线等工业用的空气净化。
资料来源：公司官网，国信证券经济研究所整理
中微公司客户覆盖全球知名企业。高端设备应用于全球主流晶圆厂商。刻蚀机主要客户包括台积电、英特尔、联华电子、格罗方德、海力士、意法半导体、华力、华虹、中芯国际、博世、长江存储、长鑫存储等，2019 年公司 CCP 刻蚀机进入了台积电 5nm 产线，2020 年至 2022 年与长江存储开启了深度合作。MOCVD 主要客户包括三安光电、晶元光电、华灿光电、乾照光电、三星、兆驰股份等知名 LED 企业。
公司业务收入主要来源于专用设备销售、备品备件销售以及服务收入三个部分，其中专用设备销售收入占比约 80%。2021 年，公司专用设备销售额 25.07 亿元，同比增长 39%，备品备件销售额 5.56 亿元，同比增长 25%，主要业务收入维持高增速。以下是公司 2016-2021 年收入分布。
资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理
同类产品对比
中微公司是 MOCVD 全球三大设备寡头之一，MOCVD 市场比重不断提升。Aixtron、Veeco 和中微是 MOCVD 设备全球三大寡头，2020 年合计占据全球外延设备市场 60%以上，MOCVD 占外延设备市场 95%以上。其中，Aixtron 在激光二极管和 GaAs LED领域领先，Veeco 和中微在 GaN LED 领域领先。
2017 年中微发布新型 MOCVD 设备，在 GaN 领域市场逐渐替代 Veeco，比重稳步提升，而 Veeco 同比下降。21 年针对高端显示应用所需的 Mini LED 大规模生产推出的 Unimax MOCVD 设备性能优秀，预计会带动公司 MOCVD 市场提升。下图是2020 年全球外延设备市场分布。
资料来源：Yole，国信证券经济研究所整理
下图是2018年和2019年相关企业在MOCVD市场市占率。2019 年中微 MOCVD 市占率超越 Veeco。
资料来源：Yole，国信证券经济研究所整理
供应链分析
公司设备零部件来源广泛，国产化率接近 60%。中微设备零部件主要来源为中国、日本、美国、欧洲，一直努力实现高程度国产化，由于刻蚀设备属于高精度加工设备，对设备零部件加工精度和材料能力要求较高，部分零部件由于设备技术需求，暂未实现国产化。根据公司公告，截至 2021 年，CCP、ICP 国产零部件价值比重分别为 61.44%和 59.48%，国产化率约为 60%，第二大零部件来源国是日本，约占 20%。下图分别是2021 年 CCP 零部件国产化率及2021 年 ICP 零部件国产化率。
资料来源：公司公告，国信证券经济研究所整理
资料来源：公司公告，国信证券经济研究所整理
中微 MOCVD 设备产品性能已经达到国际领先，2021 年零部件国产化率达到 80%以上。中微 MOCVD 设备经过国内外头部厂商验证，设备产能，沉积厚度均匀性，控温设计等均已达到国际领先水平，公司设备优化速度迅速，2007 年设备波长均匀性为 1.51nm，2021 年推出的 Prismo UniMax®型号波长均匀性已提升至 0.71nm，达到国际领先水平。根据公司公告，公司国产化零部件价值占比达到 81%，日产零部件占比 10%，美产零部件占比 5%，实现高度国产化，供应链安全稳定。下图是2021 年 MOCVD 零部件来源分布。
资料来源：Yole，国信证券经济研究所整理
财务分析
刻蚀设备与 MOCVD 双向并行，公司盈利能力持续提升。随着公司刻蚀设备和 MOCVD设备技术不断成熟，产品的市场认可度逐渐升高。公司 2017 年实现净利润扭亏为盈，营业收入逐年快速增长，公司 22 年预计全年实现营收 47.4 亿元，同比增长52.5%，实现归母净利润区间为 11.70 亿元，同比增长 15.66%；实现扣非归母净利润 9.19 亿元，同比增长 183.44%。
毛利率方面，主营业务中刻蚀设备毛利率基本持平，接近 45%；MOCVD 设备毛利率先降后升，在 2017-2020 年呈下降趋势，原因是 2017 年公司为推广新型 MOCVD设备 Prismo A7，采用较优惠的价格开拓市场，拉低了毛利率。21 年推出的 UnimaxMOCVD 设备以出色的性能在市场获得了很好的议价能力，带动毛利率快速回升。
下图是公司 2017-2022 年营业收入及增速（单位：亿元）。
资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理
下图是2016-2021 年公司主营业务毛利率变化。
资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理
同行财务对比分析
业绩进入高速增长期，盈利能力比肩国际刻蚀大厂，高于行业平均。2019-2021年，公司净利与毛利率均迅速上升：2021 中微毛利率 43.36%，净利率 32.54%，接近国际一线刻蚀大厂 LAM（毛利率 46.53%，净利率 26.72%）与 TEL（毛利率40.38%，净利率 17.36%）水平，高于行业平均水平（毛利率 42.38%，净利率 17.95%）。其主要原因是公司产品不断成熟，市场认可度不断提升，订单持续放量，盈利能力进入快速增长期。以下分别是是2019-2021 年中微公司毛利率及净利率与 LAM、TEL 对比图。
资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理
资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理
