定义：光刻机又名掩模对准曝光机，光刻系统等。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
以下内容是生产一台光刻机所需要的零部件：
| 光刻机原件单元 | 配套材料和设备 |
| 激光器 | 光罩 |
| 能量控制器 | 光刻胶 |
| 光速形状设置 | 光刻气体 |
| 遮光器 | 配套电气设备 |
| 能量探测器 | 涂胶设备 |
| 掩膜台 | 显影设备 |
| 物镜/镜头 | 甩干设备 |
| 量台、曝光台 | |
| 内部封闭框架、减震器 |
光刻机产业链龙头股票有哪些
据炒股学习网不完全统计，A股光刻机产业链龙头股票共有7只，分别是：福晶科技、华特气体、富创精密、奥普光电、苏大维格、芯源微、彤程新材。
光刻机产业链概念股票名单一览表
以下是国产光刻机产业链相关股票：
A股光刻机概念股还有：万业企业、华特气体、蓝英装备、胜利精密、张江高科、奥普光电、晶方科技和大族激光。
| 华特气体 | Ar/Ne/Xe于2020年通过全球第二大光刻机生产商GIGAPHOTON的认证，且在2017年公司已经有4款气体通过ASML的认证，是国内唯一通过这两大光刻机公司认证的公司。 |
| 蓝英装备 | 控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案 |
| 胜利精密 | 全资子公司富强科技与中国科学院光电技术研究所（成都光电所）共同设立公司承担的极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项光刻机受制约关键零部件国产化产品研发项目。 |
| 张江高科 | 是张江科学城的重要开发主体，张江科学城运营主体中唯一上市公司，公司投资的上海微电子旗下已有多个系列光刻机产品。 |
| 奥普光电 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所控股下的唯一上市公司平台，公司董事长孙守红先生是国内两家光刻机公司国望光学和国科精密光学的法人代表。公司大股东长春光机所正在研发更高水平的光刻机曝光系统。 |
| 晶方科技 | 2019年初，晶方产业基金通过控股子公司晶方光电收购了荷兰Anteryon公司73%的股权。Anteryon公司拥有完整的晶圆级光学组件制造量产能力与经验，并利用其核心晶圆级技术为客户提供光学组件制造和模组组装服务，其产品和技术可应用于半导体，手机，汽车，安放，工业自动化等市场领域。此外，荷兰光刻机制造商ASML为Anteryon的最大进口商。 |
| 大族激光 | 公司光刻机项目分辨率为3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。 |
相关概念股：涉及到概念的上市公司有55家，第一次提及概念为2019年07月17日。
| 证券代码 | 证券简称 | 关联度 | 关系 |
| 300346 | 南大光电 | ☆☆☆☆☆ | 子公司宁波南大光电负责组织实施“ArF光刻胶开发和产业化项目”，研发的产品成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。 |
| 688167 | 炬光科技 | ☆☆☆☆☆ | 公司光场匀化器性能卓越，应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，进入ASML、台积电等厂商的供应链 |
| 688409 | 富创精密 | ☆☆☆☆☆ | 公司已进入全球光刻机龙头ASML供应链体系。 |
| 002222 | 福晶科技 | ☆☆☆☆☆ | 间接供货荷兰ASML公司光刻机激光光源晶体 |
| 603005 | 晶方科技 | ☆☆☆☆ | 公司收购的Anteryon公司为荷兰光刻机制造商ASML供应商 |
| 300331 | 苏大维格 | ☆☆☆☆ | 公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备 |
| 300200 | 高盟新材 | ☆☆☆ | 参股公司北京科华是光刻胶企业 |
| 688268 | 华特气体 | ☆☆☆ | 公司的光刻气产品通过ASML公司认证 |
| 300522 | 世名科技 | ☆☆☆ | 子公司常熟世名化工科技有限公司技改项目中涉及的光刻胶颜料分散液（光刻胶色浆） |
| 688550 | 瑞联新材 | ☆☆☆ | 目前公司一部分光刻胶产品处于送样测试阶段。 |
| 002409 | 雅克科技 | ☆☆☆ | 公司通过购买LG化学下属的彩色光刻胶事业部的部分经营性资产，可以获取彩色光刻胶的关键技术 |
| 603078 | 江化微 | ☆☆☆ | 公司有光刻胶配套试剂循环再生产品主要以高世代LCD面板和AMOLED线为主。 |
| 300758 | 七彩化学 | ☆☆☆ | 公司控股子公司绍兴上虞新利化工有限公司“2000吨/年光敏性中间体及600吨/年高性能光刻胶系列产品技改项目”目前正在安装设备阶段。 |
| 300131 | 英唐智控 | ☆☆☆ | 公司称收购完成英唐微技术后，将主要围绕第三代半导体SiC产品进行产线建设；此前收购的先锋微技术自有的生产设备中包含有日本产的光刻机设备 |
| 688630 | 芯碁微装 | ☆☆☆ | 公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务 |
| 300655 | 晶瑞电材 | ☆☆☆ | 子公司苏州瑞红于1993年开始光刻胶的生产，是国内最早规模化生产光刻胶的企业之一 |
| 603650 | 彤程新材 | ☆☆☆ | 公司全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权，科华微电子是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业 |
| 300637 | 扬帆新材 | ☆☆☆ | 公司部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶等相关领域 |
| 300576 | 容大感光 | ☆☆☆ | 公司掌握PCB油墨、光刻胶等电子化学产品生产过程中的核心技术。 |
| 688019 | 安集科技 | ☆☆☆ | 公司主要产品有光刻胶去除剂系列 |
| 300429 | 强力新材 | ☆☆☆ | 公司专业从事电子材料领域各类光刻胶专用电子化学品的研发、生产和销售及相关贸易业务。 |
| 603306 | 华懋科技 | ☆☆☆ | 公司持有徐州博康不低于29.704%的股权,标的是国内主要的产业化生产中高端光刻胶单体的企业 |
| 300293 | 蓝英装备 | ☆☆☆ | 公司与荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）公司保持长时间的合作 |
| 002326 | 永太科技 | ☆☆☆ | 公司年产1500吨CF光刻胶项目已进入了项目验收阶段 |
| 000859 | 国风新材 | ☆☆☆ | 公司与中国科学技术大学合作研究光敏聚酰亚胺（PSPI）光刻胶等 |
| 002158 | 汉钟精机 | ☆☆☆ | 公司真空泵可用于极紫外光刻，且积极推进在该行业的使用 |
| 605589 | 圣泉集团 | ☆☆☆ | 公司生产的ppb级的高纯线性酚醛树脂还应用于半导体芯片并可作为光刻胶中的主成膜物，是不可或缺的高技术材料。 |
| 002559 | 亚威股份 | ☆☆☆ | 公司与关联方共同投资的威迈芯材从事半导体化合物的研究、制造和销售 |
| 300260 | 新莱应材 | ☆☆ | 公司产品可以用于7nm以下的干式刻蚀制程 |
| 000969 | 安泰科技 | ☆☆ | 公司互动平台成，公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中 |
| 688037 | 芯源微 | ☆☆ | 公司生产的光刻工序涂胶显影设备广泛应用于国内LED芯片制造和集成电路后道先进封装领域 |
| 688138 | 清溢光电 | ☆☆ | 公司对光刻机性能的开发和应用上具备了业内先进的水准 |
| 300538 | 同益股份 | ☆☆ | 公司引入韩国光阻材料供应商SMS、KISCO、DKC |
| 300456 | 赛微电子 | ☆☆ | 公司与ASML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。 |
| 002584 | 西陇科学 | ☆☆ | 公司根据客户需要进行光刻胶相关产品研制 |
| 688199 | 久日新材 | ☆☆ | 公司正在研发阳离子光引发剂和光刻胶光敏剂 |
| 300398 | 飞凯材料 | ☆☆ | 公司的光刻胶产品主要目标应用于TFT-LCD行业。 |
| 300537 | 广信材料 | ☆☆ | 公司光刻胶项目正在研发中，已有部分研发成果 |
| 002643 | 万润股份 | ☆☆ | 公司布局电子化学品领域的聚酰亚胺材料、光刻胶单体材料，进一步丰富公司信息材料产业产品线，公司已有聚酰亚胺材料和光刻胶单体材料相关产品实现销售，相关业务尚处于拓展初期。 |
| 603931 | 格林达 | ☆☆ | 公司产品主要用于LCD显示面板制造中基板上颗粒和有机物的清洗、光刻胶的显影和剥离、电极的蚀刻等。 |
| 300236 | 上海新阳 | ☆☆ | 子公司上海芯刻微进行193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目 |
| 300225 | 金力泰 | ☆☆ | 公司的超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理与其他半导体芯片集成电路的表面处理上。 |
| 688181 | 八亿时空 | ☆☆ | 公司拟使用10,000万元的超募资金建设研发平台，重点用于聚酰亚胺（PI）和光刻胶材料的研发。 |
| 002008 | 大族激光 | ☆☆ | 公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。 |
| 002324 | 普利特 | ☆☆ | 子公司上海普利特半导体材料有限公司持股25%的苏州理硕科技有限公司是一家从事平板显示器和半导体芯片用光刻胶及光刻工艺材料研发和生产的高科技企业。 |
| 300623 | 捷捷微电 | ☆☆ | 公司拥有“高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置”专利，以及子公司捷捷半导体拥有“一套光刻胶残胶收集装置”。 |
| 603607 | 京华激光 | ☆☆ | 公司控股公司美国菲涅尔制版科技公司有光刻机的研发与销售。 |
| 600078 | ST澄星 | ☆☆ | 孙公司无锡澄泓生产的产品主要是光刻胶剥离液 |
| 600895 | 张江高科 | ☆☆ | 公司子公司张江浩成持有微装公司10.779%的股权， 微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。 |
| 300031 | 宝通科技 | ☆☆ | 公司投资的博砚电子已经成功开发出系列光刻胶产品 |
| 002338 | 奥普光电 | ☆ | 公司2021年6月9日在投资者互动平台表示，大股东长光所研发光刻机的曝光系统，曝光系统是光刻机的一个核心部件。 |
| 300721 | 怡达股份 | ☆ | 公司产品可用于生产光刻胶 |
| 002819 | 东方中科 | ☆ | 公司表示北京科益虹源光电技术有限公司为公司客户，科益虹源的产品已进入国际上最高端的DUV光刻光源产品系列。 |
| 002669 | 康达新材 | ☆ | 子公司上海康达新材料科技有限公司竞得彩晶光电60.9205%股权，彩晶光电完成了光刻胶核心材料感光剂（PAC）产品开发，平坦层光刻胶材料（OC）已在客户处开展应用测试。 |
| 603324 | 盛剑环境 | ☆ | 公司与日本长濑化成达成合作，引进长濑化成先进的FPD光刻胶剥离液和蚀刻液技术，生产、销售适用于FPD（平板显示，包括LCD、LED、OLED等）的剥离剂和蚀刻液。 |
